세계적인 반도체 장비업체인 네덜란드 기업 ASML이 경기도 화성 동탄신도시에 1만6000㎡(약 4840평) 규모 제조기지를 새로 구축했다. ASML 화성캠퍼스는 이 회사의 아시아 핵심 거점으로 국내 반도체산업의 공급망 안정성을 높이고 기술 내재화에 기여할 것으로 기대된다.
산업통상부에 따르면 ASML 화성캠퍼스 준공식이 12일 경기도 화성시 송동에서 열렸다. 준공식에는 크리스토프 푸케 ASML 최고경영자(CEO)와 강감찬 산업부 무역투자실장, 주한네덜란드대사, 경기도부지사, 송재혁 삼성전자 디바이스솔루션(DS)부문 최고기술책임자(CTO) 사장, 차선용 SK하이닉스 미래기술연구원장(CTO) 사장 등 80여명이 참석했다.
ASML은 반도체 초미세공정 구현에 필수인 극자외선(EUV) 노광장비를 독점 생산하는 업체다. 세계 최고 수준의 반도체 노광 장비를 삼성전자, SK하이닉스, TSMC 등 글로벌 반도체 기업에 공급하고 있어 '슈퍼 을(乙)'로 불린다.
이날 준공한 ASML 화성캠퍼스는 A동(지하 4층∼지상 11층)과 B동(지하 4층∼지상 5층)으로 구분된다. A동에는 주요 사무공간이, B동에는 심자외선(DUV)·극자외선(EUV) 노광장비 등 첨단 장비부품의 재(再)제조센터(Repair Center)와 첨단 기술을 전수하기 위한 트레이닝센터 등이 들어섰다.
푸케 ASML CEO는 "화성캠퍼스는 한국 고객과의 신뢰, 혁신, 지속 가능성, 그리고 성장을 향한 ASML의 의지를 보여주는 상징적인 공간"이라며 "주요 반도체 제조사들이 있는 화성시에 (뉴 캠퍼스가) 자리해 있어 보다 긴밀한 협력과 신속한 기술 지원이 가능하다"고 강조했다. 이어 "반도체 제조 공정이 복잡해지는 가운데 이러한 근접성은 효율적인 기술 이전에도 기여할 것"이라고 덧붙였다.
ASML 코리아는 화성캠퍼스 완공과 함께 인력 및 장비의 순차적 이전을 진행 중이다. 올해 말까지 이전이 완료되면 화성 일대에 분산돼 있는 1500여명 임직원이 새 캠퍼스에서 함께 근무하게 된다.
ASML은 화성캠퍼스 준공을 계기로 삼성전자·SK하이닉스 등과의 공정 협력 및 기술 교류를 강화하고, 국내 소재·부품·장비 기업과 연계 생태계를 구축하는 등 상생형 협력 모델을 본격화할 계획이다.
