영주에 15t규모 생산시설…3년뒤 국산화율70%로
지난해 7월 일본의 수출규제 조치에 맞서 개발에 들어간 국내 기업들의 소재부품 장비 국산화 작업의 성과에 가속도가 붙었다.
SK그룹은 반도체 소재 생산 기업인 SK머티리얼즈가 최근 초고순도(순도 99.999%) 불화수소(HF) 가스 양산을 시작했다고 17일 밝혔다. 일본의 수출규제 대표 품목인 초고순도 불화수소 가스는 반도체 제조에 쓰이는 세정 가스로 해외 의존도가 100%였다.
SK머티리얼즈는 지난해 말 시제품 개발에 성공한 데 이어 경북 영주공장에 15t 규모 생산시설을 지었다. 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올리기로 했다.
SK머티리얼즈는 고부가 제품인 하드마스크(SOC)와 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발에도 나섰다. 불화아르곤 포토레지스트의 해외 의존도는 90%다. SK머티리얼즈는 내년에 생산시설을 준공하고, 2022년부터 연 5만갤런 규모 포토레지스트를 생산할 계획이다.
SK실트론도 지난해 미국 듀폰사로부터 전기차의 필수 소재인 차세대 전력 반도체용 SiC(실리콘카바이드) 웨이퍼 사업을 인수했다. 실리콘카바이드 웨이퍼 사업은 미국·유럽 기업들이 세계 시장을 과점해왔다.
SK그룹은 소재 국산화 과정에서 확보한 기술역량을 중소기업과의 상생 협력으로 연결해 국내 반도체 생태계의 경쟁력을 높이기는 기여할 계획이다. SK하이닉스는 4천억원 규모의 상생펀드를 조성해 협력사들에 저금리 융자를 제공하고 있다.
SK그룹 내 소재사들은 중소 협력사들이 고부가의 고순도 가스를 정제하는 과정에 필요한 기술과 노하우를 공유할 예정이다. SK머티리얼즈는 지난해 11월 영주 본사에 연구개발(R&D) 시설인 통합분석센터를 세우고 한국표준과학원 등과 함께 중소기업들에 대한 분석 서비스 준비를 시작했다.
